用10K下列的超低溫板和呼吸劑(活性碳),冷疑、吸咐氣體分子結(jié)構(gòu)的中小型制冷機(jī)組? 5.3.2.5超低溫果抽氣系統(tǒng)軟件? 低溫泵,能夠構(gòu)成理想化的清理隔膜真空泵的極高真空泵抽氣系統(tǒng)軟件。這類系統(tǒng)軟件用一般碳素鋼真空泵? 泵器皿,沒經(jīng)姒烤可得到 小于10-Pa的極限工作壓力。采用不銹鋼板真空泵器皿,經(jīng)? 300℃、4h高溫除氣,能得到 小于10-8P2a的極限工作壓力。低溫泵發(fā)電機(jī)組的抽氣曲線圖平? 穩(wěn)段很寬(類似油擴(kuò)散泵),盡管它也和磁控濺射離子泵一樣,不將被抽氣體排向大? 氣而收集在泵內(nèi),每一次抽氣完畢提溫再生時(shí),根據(jù)預(yù)抽泵可將釋放出來的氣體排在大? 氣中,因而,它的抽氣容積和使用壽命都遠(yuǎn)高于磁控濺射離子泵。低溫泵發(fā)電機(jī)組的泵效從好幾百? 升到數(shù)十萬升,其運(yùn)用范疇比磁控濺射離子泵抽氣系統(tǒng)軟件普遍? ,圖525所顯示為典型性的低溫泵抽氣系統(tǒng)軟件的平面圖。一切正常工作中時(shí),系統(tǒng)軟件不用前? 級泵,僅有粗抽和低溫泵再生時(shí)必須預(yù)抽泵抽除真空泵器皿中的空氣及提溫解析出的? 氣體。真空閥門和低溫泵中間的粗抽管道關(guān)鍵用以低溫泵終止抽氣期內(nèi)的提溫再? 生。對潔凈度規(guī)定不嚴(yán)苛的系統(tǒng)軟件,能夠應(yīng)用旋片真空泵做為預(yù)抽泵。規(guī)定肯定隔膜真空泵? 的清理真空,能夠選用多級別碳分子篩吸咐泵或干試泵發(fā)電機(jī)組預(yù)抽? (1)低溫泵抽氣系統(tǒng)軟件的變換工作壓力? 制冷機(jī)組低溫泵二級冷頭的致冷輸出功率不大(一般低于30W),另外其表面粘附的? 呼吸原材料的呼吸容積比較有限,因而正常情況下低溫泵抽氣系統(tǒng)軟件的較少變換工作壓力越低越好。? 實(shí)際上較少變換工作壓力受制于所采用的預(yù)抽泵種類。采用碳分子篩吸咐泵預(yù)抽泵,氣體? 中不可以被碳分子篩吸咐泵抽除的氖分壓電路約為1.8Pa,即便 選用二級抽氣的碳分子篩吸咐泵,其極限工作壓力大概在10-1Pa量級,此工作壓力限定了低溫泵抽氣系統(tǒng)軟件的較少變換工作壓力。采用油潤化的真空泵,則受機(jī)械設(shè)備油閥蒸汽反流的限定。油蒸汽冷疑在呼吸劑表面上,可能阻塞微孔板安全通道,比較嚴(yán)重危害低溫泵對氫、氦等氣體的抽氣功效。因而一般規(guī)定油真空泵預(yù)抽管路的氣旋應(yīng)處在黏滯流情況。一般直徑4~6cm的預(yù)抽管

道,限定管路的較少工作壓力約為10~20Pa.粗管路較少變換工作壓力應(yīng)超過克努森數(shù)? 0.01的值
低溫泵抽氣系統(tǒng)軟件的較大變換工作壓力在于開啟高真空閥時(shí)低溫泵容許的較大 沖擊性? 氣旋、超出時(shí),瞬時(shí)速度猝發(fā)氣體釋放的發(fā)熱量將使冷軋鋼板溫度升高到不可以恢復(fù)過來工作中狀? 態(tài)。一般低溫泵生產(chǎn)商會(huì)出示泵的較大 瞬時(shí)速度“沖擊性”氣旋Q。針對容積為V的? 真空泵器皿,其較大變換工作壓力p=,由上式明確

(5-17)
充分考慮油真空泵反流的危害,中小型制冷機(jī)組低溫泵抽氣系統(tǒng)軟件預(yù)抽管路中粗抽氣體? 的變換工作壓力范疇為
15Pa≤pm≤V? (5-18)
(2)系統(tǒng)軟件的起動(dòng)和關(guān)機(jī)
較先起動(dòng)制冷機(jī)組低溫泵(這時(shí)高真空閥處在關(guān)掉情況),根據(jù)閘閥11用預(yù)抽泵抽除低溫泵泵身體的空氣,當(dāng)工作壓力做到20~15Pa時(shí),關(guān)掉閘閥11停預(yù)抽泵。當(dāng)?shù)?br/>冷軋鋼板做到一切正常操作溫度后,起動(dòng)預(yù)抽泵開啟預(yù)抽閥8對真空泵器皿開展預(yù)抽,抵達(dá)要求變換工作壓力時(shí)關(guān)掉預(yù)抽系統(tǒng)軟件并開啟高真空閥,低溫泵剛開始對真空泵器皿開展抽氣。系統(tǒng)軟件抵達(dá)其本底極限工作壓力的抽氣時(shí)間將由系統(tǒng)軟件的歷史時(shí)間標(biāo)準(zhǔn)、解決產(chǎn)品工件的排氣? 閘閥液壓密封件的漏汽速度等要素決策。一般器皿內(nèi)工作壓力抽中壓力時(shí),就可以開展處理工藝,不一定必須做到其本底工作壓力? 個(gè)加工工藝周期時(shí)間進(jìn)行后必須真空泵器皿放進(jìn)空氣拆換產(chǎn)品工件時(shí),較先關(guān)掉高真空閥,? 根據(jù)真空系統(tǒng)排氣閥5放進(jìn)空氣(較理想化的氣體是放進(jìn)干躁N2)。拆換產(chǎn)品工件后,再? 用預(yù)抽泵抽除放進(jìn)的氣體,到變換工作壓力時(shí)關(guān)掉預(yù)抽閥8,停預(yù)抽泵,開啟極高真空閥4。? 終止運(yùn)行的流程與起動(dòng)程序流程反過來,較先關(guān)掉極高真空閥,再切除制冷機(jī)組的電? 源,終止低溫泵運(yùn)行。假如系統(tǒng)軟件運(yùn)行期內(nèi)抽除的供氣量不大,停泵后當(dāng)然提溫時(shí)冷? 凝、吸咐的氣體所有釋放仍不能使泵身體工作壓力上升到1atm之上,停泵時(shí)不用
起動(dòng)真空泵。假如抽除的供氣量許多 ,斷開氮壓力機(jī)開關(guān)電源的另外就必須起動(dòng)預(yù)抽機(jī)械設(shè)備? 泵,將低溫泵冷軋鋼板解析的氣體排到空氣中,避免 解析的氣體產(chǎn)生過高工作壓力造成爆
炸,保證 低溫泵的安全性? 極高超濾裝置不論是停泵或拆換產(chǎn)品工件,都盡量避兔放人濕冷空氣。每一個(gè)加工工藝? 周期時(shí)間停泵時(shí)較好是放進(jìn)干躁N2,讓系統(tǒng)軟件內(nèi)全部表面在停泵后吸咐多層N2分子結(jié)構(gòu),能? 合理地減少再度啟動(dòng)原材料的排氣速度,減少起動(dòng)抽氣時(shí)間
(3)低溫泵系統(tǒng)軟件特點(diǎn)? 20K的超低溫表面粘附的活性碳能合理地冷疑吸咐氫、氖等氣體,但對氮的抽? 氣容積不大,必須抽除很多N2的低溫泵,應(yīng)當(dāng)應(yīng)用4.2K的液態(tài)氮低溫泵,不能用? 氣氮低溫泵,液態(tài)氮低溫泵還具備無震動(dòng),無電磁場的突顯優(yōu)勢,可用以與化學(xué)成分分析電? 子能譜儀成二次正離子質(zhì)譜儀器一類的靈巧的表面剖析機(jī)器設(shè)備,氣體制冷機(jī)組低溫泵的活塞桿
健身運(yùn)動(dòng)造成的輕度震動(dòng)會(huì)危害這類機(jī)器設(shè)備的一切正常運(yùn)行,因而,用氣體制冷機(jī)組時(shí),務(wù)必采
用合理的防震對策
當(dāng)今中小型制冷機(jī)組低溫泵的運(yùn)用,日漸變得重要,它是因?yàn)樗邆湎铝型伙@
優(yōu)勢
①制冷機(jī)組低溫泵的制冷機(jī)組能夠長期性運(yùn)行,因此能完成抽氣系統(tǒng)軟件徹底的自
動(dòng)化
②與磁控濺射離子泵一樣能完成肯定隔膜真空泵(無氮氧化合物)的“清理”真空泵,壓力范疇和抽氣工作能力遠(yuǎn)高于磁控濺射離子泵
③一樣規(guī)格的抽氣系統(tǒng)軟件中,它的泵效指數(shù)是全部泵中較大 的。尤其是沒有泵? 殼的赤身裸體制冷機(jī)組低溫泵能插入真空泵器皿內(nèi),不會(huì)受到抽氣管路流導(dǎo)的危害。? ④泵效超過10000/s的真空泵抽氣系統(tǒng)軟件,其項(xiàng)目投資、運(yùn)行花費(fèi)均比含有液態(tài)氮冷阱? 的擴(kuò)散泵要低
⑤制冷機(jī)組低溫泵的容積和凈重都較小,而且不會(huì)受到安裝方位的限定。運(yùn)行的可? 靠性不遜于擴(kuò)散泵
因?yàn)橹行⌒椭评錂C(jī)組低溫泵對H2、Ne、He的抽氣容積比較有限,在一些運(yùn)用中比如? 真空電鍍加工過程中造成的H2很有可能危害它的運(yùn)行周期時(shí)間。除此之外,盡可能不用以抽除大? 量氬氣,若用以抽除很多二氧化氮時(shí),應(yīng)選用較少二次電子光學(xué)屏蔽掉的80K隔板用于冷疑? 很多氬氣,降低二氧化氮進(jìn)到20K超低溫板上吸收劑的幾率。不然氬氣會(huì)在吸收劑的微? 孔表面凝固成固體氬,一旦呼吸劑表面遮蓋一層固體氬,就僅有靠固體氬霜收集? 氫、氮,當(dāng)氬霜的溫度高過20K時(shí),氬霜就不可以收集氫,務(wù)必對低溫泵開展再生? 才可以修復(fù)泵的抽氣性
(4)低溫泵的再生
當(dāng)泵冷疑吸咐的氣體霜厚厚的,霜層表面的溫度上升,導(dǎo)致冷凝物的飽和蒸氣壓? 過高,危害得到 的真空值或是活性碳的吸咐的氣體做到飽和狀態(tài),無論哪樣狀況產(chǎn)生? 低溫泵就不可以一切正常工作中,必須對泵開展再生解決。低溫泵的再生一般可根據(jù)再生溫? 度分成一部分再生(室內(nèi)溫度)和所有再生(高溫烤制)。若系統(tǒng)軟件所有再生后使用時(shí)間不? 長,或抽氣量不大,沒有很多的水凝聚力的狀況下,只必須一部分再生,即每一個(gè)加工工藝周? 期完畢泵終止運(yùn)行時(shí),超低溫冷軋鋼板消化吸收泵壁的熱傳遞當(dāng)然提溫至室內(nèi)溫度,將吸咐的氣體? 釋放,這類溫度標(biāo)準(zhǔn)下的再生,冷軋鋼板和吸收劑的表面吸咐的氣體仍未完全除氣,再
次啟動(dòng)用預(yù)抽泵將這種氣體抽除,當(dāng)發(fā)覺系統(tǒng)軟件的抽氣特性受到影響(預(yù)擠時(shí)間拉長? 極限工作壓力上升、泵效降低等),務(wù)必對超低溫板、吸收劑加溫烤制開展所有再生,再? 生時(shí)間與抽除的氣體成份和應(yīng)用的歷史時(shí)間狀況相關(guān),可依據(jù)機(jī)器設(shè)備的運(yùn)行工作經(jīng)驗(yàn)明確,對? 大部分低溫泵極高超濾裝置,一般工作中2-3個(gè)月后就必須所有再生? 所有再生的非常簡單方式是不斷充進(jìn)50~80℃的干躁熱N2清洗換置釋放出來的? 氣體,一般要充洗4~8h,也可立即用室內(nèi)溫度清洗再生,再生全過程更長達(dá)一晝夜之? 久。必須表明的是,室內(nèi)溫度干躁N2清洗方式僅適用活性碳,假如吸收劑為分子結(jié)構(gòu)? 篩,室內(nèi)溫度下會(huì)所有釋放永久氣體,所吸咐的水蒸汽必須150~350℃高溫烤制再? 生較少5h.一般中小型制冷機(jī)組低溫泵用卡緊銦墊圈的方式使二級冷頭與超低溫板觸碰? 優(yōu)良,減少冷頭與超低溫板中間的溫度差,因?yàn)殂煹娜茳c(diǎn)低,不可以承擔(dān)過高的烤制度? 因此制冷機(jī)組低溫泵不選用碳分子篩做吸收劑。液氦低溫泵的冷軋鋼板,一般是纖焊在液態(tài)氮? 低溫管上,容許用150℃之上的高溫烤制再生方式,可合理地減少再生時(shí)間

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