?? 得出的是一個在真空泵器皿和分子泵中間設立閘閥、冷阱的極高真空泵系? 統,其粗抽管路和前級管路與圖5-21所顯示擴散泵抽真空系統軟件同樣。分子泵配備的前? 級泵和擴散泵不一樣。擴散泵的一切正常運行規定前級泵具備充足大的抽速,在較大 排氣管? 量時保證 擴散泵前級壓力小于擴散泵臨界值前級壓力。渦輪分子泵則規定挑選具備足? 夠抽真空總流量的前級泵,使挨近前級管路的葉子在較大 排量時處在分子結構流或正益處? 于過渡流。大部分分子泵的較大 恒定進風口壓力p人約為0.5~1Pa,較大 前級壓? 力前約為30Pa,因此 分子泵在較大 排量時的發動機壓縮比(p前/p)或前級泵的抽? 速與分子泵抽速之比(S前/S分)在60~30中間。針對規定前級管路氫分壓電路尤其小? 的系統軟件,配備的抽速比應是20:1。? 渦輪分子泵歸屬于較清理的機械泵(又被稱為半無汽油泵),它對植物油脂一類生物大分子的壓? 縮較為高,不用液態氮冷阱阻攔軸承潤滑油或真空泵泵液的反流。圖5-22中裝在? 真空室和分子泵中間的液態氮阱的適用范圍是提升 對系統水蒸汽的抽速,那樣能夠縮

短烤制去氣時間、粗抽管路不用配備冷阱,粗抽時選用10-1050Pn的轉換壓
力,就能合理避免 機械設備油閥根據粗抽管路轉移到真空室中去。中小型渦輪分子泵抽氣機組能夠撤消粗抽管路,另外起動渦輪分子泵和真空泵,根據渦輪分子泵對真空室開展粗抽。必須尤其強調的是所配備的真空泵的抽速理應能在渦輪分子泵做到較大 轉速比之前把真空室抽中銜接壓力,不然,分子泵的驅動電機的過電流保護電源電路便會把渦輪分子泵關閉。選裝的真空泵應該是在渦輪分子泵做到其額定值轉速比75%上下時就可以把真空室抽中20~200Pa,在這里壓力下,能避免 機械設備油閥的反流。大部分渦輪分子泵做到額定值轉速比的開機時間為5~10min,可依據分子泵的開機時間和真空泵的容? 積(包含管路和分子泵)測算配備真空泵合理抽速的尺寸
渦輪分于泵對氫的發動機壓縮比和前極氫分壓電路是危害極限壓力的關鍵緣故之一。真空泵維修減少? 前級氫分壓電路,可以提升 渦輪分子泵的極限壓力。高發動機壓縮比的渦輪分子泵,用二級旋? 片真空泵作前級,極限壓力約為5×10-9Pa,用擴散泵作前級時,可提升 到1? 10-Pa,在真空室與分子泵中間提升一個鈦吸咐阱或液態氮碳分子篩吸咐阱,其極限? 壓力可小于10-9Pa
用以抽除大流量的渦輪分子泵抽真空系統軟件,如正離子刻蝕機等必須放進的很多加工工藝? 用汽體,當進口壓力過高時,氣旋的摩阻會使分子泵的轉速比減緩,因此對氫的? 壓比會快速減少。圖5-23所顯示為 Hanlon得出的一臺35m3/h前級泵的巴爾采斯生? 產的抽速400L/s分子泵通道壓力與抽速關聯的試驗曲線圖。通道壓力擴大到0.9Pa? 時,曲線圖出現轉折點,選用很大的前級泵,曲線圖A將往右邊挪動(抽速豎直段擴寬),? 相反將往左邊挪動。防止抽速降低的方式是在泵入口設定過流保護閥,依據抽真空總流量不? 變基本原理,讓真空室保持必須的加工工藝壓力的另外,使渦輪分子泵仍處在飛速運行的抽? 速豎直段的底壓情況

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