氦質(zhì)譜泄漏檢測一種以氦為示漏氣體的專用檢漏儀。具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。它是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高、應(yīng)用較廣泛的檢漏儀。氦質(zhì)譜檢漏儀方法已廣泛應(yīng)用于真空檢漏技術(shù)領(lǐng)域。該方法的優(yōu)點是：

檢漏靈敏度高，可檢漏10-11Pam3/s 數(shù)量級、儀器響應(yīng)快、氦分子在儀器高真空環(huán)境中擴(kuò)散快；因此，氦質(zhì)譜檢漏儀廣泛應(yīng)用于宇宙飛船、航天飛機(jī)、火箭、衛(wèi)星、飛機(jī)等航空航天領(lǐng)域。在一般工業(yè)領(lǐng)域，原子能、發(fā)電廠、配電站、合成氨氮肥生產(chǎn)廠、汽車制造業(yè)、造船業(yè)、制冷業(yè)、冶金業(yè)、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐快餐食品包裝不能與泄漏問題分開，導(dǎo)彈彈體、燃料儲備罐、燃料運(yùn)輸管道、彈頭、特殊部件密封使用氦質(zhì)譜泄漏檢測器，本文主要總結(jié)了氦質(zhì)譜檢漏儀的原理和方法。

氦質(zhì)譜檢漏儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析儀。單級磁偏轉(zhuǎn)型儀的靈敏度為10-9~10-12Pam3/s，廣泛應(yīng)用于各種真空系統(tǒng)和部件的檢漏。與單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器相比，本底噪聲明顯降低。其靈敏度可達(dá)10-14~10-15Pam3/s，適用于超高真空系統(tǒng)、部件和部件的泄漏檢測。逆流氦質(zhì)譜泄漏檢測器改變了傳統(tǒng)儀器的結(jié)構(gòu)布局，檢測部件放置在泄漏檢測器主泵的前部，具有高壓泄漏檢測、無液氮、質(zhì)譜室污染小的特點。適用于泄漏率大、真空衛(wèi)生差的真空系統(tǒng)，靈敏度可達(dá)10-12Pam3/s。