阿特拉斯真空泵的常見類型是什么？

阿特拉斯真空泵是一種非常重要的真空設備。根據真空生產原理，可分為體積真空泵（如液體環泵、螺桿泵、羅茨泵等）；動態傳輸真空泵（如分子泵：噴射真空泵：擴散泵）；氣體捕獲真空泵（如鈦升華、鋯鋁合金吸泵、低溫泵濺射離子泵、熱蒸發鈦升華泵等）。

真空通常由專用抽氣機獲得，其氣體稀薄度由真空計測量。大氣壓力為1×10-14pa高真空度。真空技術廣泛應用于芯片制造、太陽能電池制造、光學薄膜制造、電真空儀器、電子管等電子儀器。

阿特拉斯真空泵的常見類型是什么？它們各自的發展趨勢是什么？

1.水環真空泵是一種易燃、易爆、腐蝕性氣體、含塵、潮濕氣體的變量泵。本實用新型結構簡單，維護方便，磨損小，安全性高，輸送氣體無污染。水環泵的主要原料是鑄件，加工簡單，屬于勞動密集型產品。因此，與進口泵相比，它具有價格優勢，目前應用廣泛。目前，國內生產企業應主要從減肥、體積、能耗、效率等方面提高產品。

旋片式真空泵是真空獲取的基本設備之一。它是一種油封機械真空泵，適用于真空包裝、真空成型、真空吸入等封閉系統中的氣體提取，具有體積小、重量輕、噪音低、真空度高的優點。旋葉泵技術上已達標，價格遠低于進口泵，具有一定的競爭優勢。需要解決的主要問題是葉片材料、軸封漏油等，以及抽汽葉片泵的開發。

3.滑閥真空泵是一種油密封變量真空泵，可用于提取含有少量氣體的普通氣體或冷凝氣體。與旋片泵相比，工作壓力高(104pa)、抽氣量大，在惡劣條件下使用，經久耐用。主要用于真空熔煉、真空干燥、真空浸漬、真空蒸餾等領域。由于鑄造工作量大，加工工作量大，許多外國制造商希望與國內真空泵企業合作。為了加快進口產品的更新，國產滑油泵需要優化其產品，以減少振動和噪音，防止噴油和漏油。

4.干式螺旋真空泵是阿特拉斯真空泵系列下的一種新型設備，具有可靠性高、使用壽命長、動平衡性能好、適應性強、多相混輸等特點。它能去除腐蝕性、有毒性、含塵氣體和冷凝蒸汽。干泵廣泛應用于半導體工業、化工、薄膜工業等，這三個行業的需求是推動干泵市場的主要動力。在歐美半導體行業，約有一半的企業使用干式真空泵代替油封機械泵。進口干式泵主要用于我國半導體行業。因此，應加強國內干式真空泵的研發，使其成為我國真空產業新的經濟增長點。