1、真空泵專用油具有一定的粘度，粘度的高低決定了真空泵的密封性，粘度的過小，密封性則不好；粘度過高，會加大泵內葉片與缸體的摩擦力度，潤滑作用就會變差，同時，轉子的旋轉將會變得困難，電機的壓力將會變高，油溫也會越來越高。油溫的升高會加速泵油的乳化呈度，真接影響真空度的高低。

2、真空泵專用油的化學性質更趨于穩定，水分、水溶酸、不溶堿和其它雜質的含量要小的多的多，使用專用油能效的辟免多次更換真空泵油和**泵內清潔度的問題。

3、真空泵專用油的飽積蒸氣壓要低，易揮發的輕鎦分要少。如果是普通的真空泵油或機油則很容易揮發，使用非真空泵專用油則面臨經常加油的局面。