真空檢漏工作針對(duì)的就是漏氣，也叫實(shí)漏，是指氣體通過(guò)真空系統(tǒng)上的漏孔或間隙，從高壓側(cè)流向低壓側(cè)。有實(shí)漏，然后對(duì)應(yīng)的有一個(gè)虛漏，它是指泄漏的氣體是由于材料放氣、解吸、凝結(jié)氣體的再蒸發(fā)或系統(tǒng)內(nèi)的死空間氣體流出等原因使真空系統(tǒng)或容器壓力升高，這也是真空檢漏工作需要排除的。

此外其他的一些基本概念：氣密性是指真空系統(tǒng)或容器壁對(duì)空氣不可滲透程度的一種性能表征；漏孔，真空器壁上存在的形狀不定、極其微小的空洞或間隙。大氣通過(guò)其進(jìn)入真空系統(tǒng)或容器中；漏率，及漏氣速率，是指單位時(shí)間內(nèi)通過(guò)漏孔或間隙流入到真空系統(tǒng)或容器的氣體量；較小可檢漏率，是指采用某種檢漏方法或儀器可能檢測(cè)出來(lái)的較小漏率；檢漏靈敏度，也叫有效靈敏度，指檢漏儀器在較佳工作狀態(tài)下能檢出的較小漏率；反應(yīng)時(shí)間，也稱(chēng)響應(yīng)時(shí)間，是指從檢漏方法開(kāi)始實(shí)施到指示方法或儀器指示值上升到其較大值的63%時(shí)所需要的時(shí)間；消除時(shí)間，是指從檢漏昂發(fā)停止體到指示方法或儀器指示值下降到停止值的37%時(shí)所需的時(shí)間；漏孔堵塞現(xiàn)象，指由于真空檢漏作業(yè)操作不當(dāng)導(dǎo)致塵埃或液體堵塞漏孔，檢漏時(shí)似乎不漏氣，但一經(jīng)排氣就會(huì)出現(xiàn)漏氣的一種現(xiàn)象。