真空系統(tǒng)對(duì)密封性有著嚴(yán)格的要求，因此在真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)的各個(gè)階段都需要進(jìn)行檢漏工作。而安裝調(diào)試階段是真空設(shè)備或系統(tǒng)檢漏工作的主體。下面我們就講講真空系統(tǒng)檢漏工作需要注意哪些事項(xiàng)？

首先，了解待檢設(shè)備的結(jié)構(gòu)組成和裝配過程。掌握設(shè)備的要求，查明需要進(jìn)行檢漏的重點(diǎn)可疑部位。 

其次，根據(jù)真空系統(tǒng)實(shí)際應(yīng)用所允許的較大允許漏率以及是否需要找漏孔的具體位置等要求，從經(jīng)濟(jì)、快速、可靠等原則出發(fā)，正確選擇檢漏方法或儀器，準(zhǔn)備好檢漏時(shí)所需的設(shè)備，并擬定切實(shí)可行的檢漏程序。 

第三，對(duì)被檢件進(jìn)行好清潔工作，取出焊渣、油垢等，再按真空衛(wèi)生條件要求進(jìn)行清潔處理，并予以烘干。對(duì)要求高的小型器件，清潔處理后可通過真空烘干箱進(jìn)行烘烤。這主要是為了避免漏孔不被污物、油、有機(jī)溶液等堵塞，同時(shí)保護(hù)檢漏儀器。 

第四，檢漏方法和檢漏設(shè)備確定后，需要進(jìn)行檢漏靈敏度的校準(zhǔn)，并確定檢漏系統(tǒng)的檢漏時(shí)間。 

第五，若采用真空檢漏法時(shí)，為了提高儀器的靈敏度，應(yīng)盡可能將被檢件抽到較高真空。 

第六，在符合真空系統(tǒng)需求的前提下，優(yōu)先選用經(jīng)濟(jì)且現(xiàn)場(chǎng)具備條件的檢漏方法。 

第七，采用氦質(zhì)譜檢漏設(shè)備時(shí)，對(duì)于要求檢漏不高的或有大漏產(chǎn)生的被檢件，在檢漏初期應(yīng)盡量用濃度較低的氦氣進(jìn)行檢漏，然后再進(jìn)行小漏孔的檢漏，以節(jié)約氦氣。 

第八，對(duì)已檢出的大漏孔，要及時(shí)進(jìn)行修補(bǔ)堵塞后再進(jìn)行小漏孔的檢漏。 

第九，對(duì)檢出并修補(bǔ)的漏孔，需要進(jìn)行復(fù)查，確保檢漏結(jié)果達(dá)到要求。 

除了各個(gè)階段的檢漏工作，真空系統(tǒng)在應(yīng)用中應(yīng)保持良好的日常檢漏習(xí)慣，形成規(guī)范，保證真空系統(tǒng)的良好運(yùn)行。

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