真空系統對密封性有著嚴格的要求，因此在真空系統設計的各個階段都需要進行檢漏工作。而安裝調試階段是真空設備或系統檢漏工作的主體。下面我們就講講真空系統檢漏工作需要注意哪些事項？

首先，了解待檢設備的結構組成和裝配過程。掌握設備的要求，查明需要進行檢漏的重點可疑部位。 

其次，根據真空系統實際應用所允許的較大允許漏率以及是否需要找漏孔的具體位置等要求，從經濟、快速、可靠等原則出發，正確選擇檢漏方法或儀器，準備好檢漏時所需的設備，并擬定切實可行的檢漏程序。 

第三，對被檢件進行好清潔工作，取出焊渣、油垢等，再按真空衛生條件要求進行清潔處理，并予以烘干。對要求高的小型器件，清潔處理后可通過真空烘干箱進行烘烤。這主要是為了避免漏孔不被污物、油、有機溶液等堵塞，同時保護檢漏儀器。 

第四，檢漏方法和檢漏設備確定后，需要進行檢漏靈敏度的校準，并確定檢漏系統的檢漏時間。 

第五，若采用真空檢漏法時，為了提高儀器的靈敏度，應盡可能將被檢件抽到較高真空。 

第六，在符合真空系統需求的前提下，優先選用經濟且現場具備條件的檢漏方法。 

第七，采用氦質譜檢漏設備時，對于要求檢漏不高的或有大漏產生的被檢件，在檢漏初期應盡量用濃度較低的氦氣進行檢漏，然后再進行小漏孔的檢漏，以節約氦氣。 

第八，對已檢出的大漏孔，要及時進行修補堵塞后再進行小漏孔的檢漏。 

第九，對檢出并修補的漏孔，需要進行復查，確保檢漏結果達到要求。 

除了各個階段的檢漏工作，真空系統在應用中應保持良好的日常檢漏習慣，形成規范，保證真空系統的良好運行。

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