?? ?依據規定的壓力Pw和應用規定,挑選油擴散泵為主導泵。其真空泵抽氣機組如圖所示3-12? 從圖3-12得知,擴散泵上邊安裝有中600單百葉窗簾障板;障板上邊安裝有GDDJ600手? 電雙用擋板閥,前面裝有兩部2X-70型真空泵構成真空機

a)依據需要的合理抽速,充分考慮再加上障板、擋板閥后的泵的抽速損害,暫選抽速為? 17000L/s的K-600T擴散泵開展試算? b)測算擴散泵與真空室排汽管道的流導,為認證選K-600T擴散泵是不是適合? 總的流導C由高真空電磁閥道C1、障板流導C2、擋板閥流導C3串連構成。
明確汽體沿管路的流動性動態性。當真空室壓力Pw=2.67×10-2Pa,擴散泵通道工作壓力? 很低時,故管路出入口工作壓力能夠忽視。管路中的均值工作壓力p=Pw/2=1.33×10Pa,這時? pd=7.92×10-Pa·cm<2Pa·cm(d為管道直徑),由此可見為分子結構流? 在分子結構流情況下,高真空電磁閥道流導C1=11.64AaL/s,A為管路截面,a為流導指數。當? L/d=125時,得a=0.5,帶入C1式得C1=1639/s;C2為15000/s,C3為12600/s? C2C3+C1C3+C1C24830.6L/s? 總流導C? c)測算擴散泵的抽速S。擴散泵的抽速S由真空室需要的合理抽速S和總流導C決? 定,計算方法為

14162.3L/s? 由此可見,挑選K-600T擴散泵是適合的。此泵在10-2~10-4Pa范疇內的均值抽速為? 16000~17000L/s,極限真空值p0=7×10-5Pa,能考慮該設備超濾裝置為2.67×10-2Pa的? 規定。而該泵的較好壓力在1×10-2~1×10-4Pa,能考慮該設備壓力Pw為2.67×? 10-2Pa的規定。

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