? 中小型擴股互高直空抽氣機組一般配備有儲氣罐,設定在擴散泵和前級泵中間,存儲擴夏排出來的氣休,設定儲氣罐的緣故以下? ①因為必須抗震而設定儲氣罐,超濾裝置工作中時,一些加工工藝全過程規定嚴苛抗震,因而? 必須機械泵在一段時間內停止工作,在這段時間內,擴散泵排出來的汽體統統存儲在供氣? 中,供氣替代機械泵保持擴散泵一切正常工作中? 這類主要用途的儲氣罐的容積V為
(3-28)式中Q—在機械泵停止工作的時間內擴散泵的排量,PaL/s
—機械泵停止工作的時間,也就是規定儲氣罐工作中的時間,s
擴散泵臨界值前級壓力,或歷經時間t后,儲氣罐中所容許的較大壓力,Pa
p—機L械泵工作中時擴散泵的前級壓力,或t=0時,儲氣罐內壓力,Pa? 比如某加工工藝加工過程中,發電機組的排量為10-1Pa·L/s,規定機械泵正中間停止工作1h? 必須前級儲氣罐的容積多少?擴散泵前級抗壓取10Pa,一切正常工作中時前級壓力為7×10-Pa? 將Q=10-12·L/s,t=3600,p1=10Pa,p=7×10-1Pa帶入公式計算(328)得

38.7(L)? 10-7×10
②為了更好地減少工作中周期時間而設定儲氣罐。一些生產工藝流程規定不在關掉擴散泵電加熱器的狀況? 下,真空室放入空氣獲得元器件、放料。放料后用機械泵預抽真空室,這段時間內運用儲氣罐來保持擴散泵工作中。? ③為避免 真空室內瞬時速度很多放氣危害擴散泵一切正常工作中而設定儲氣罐。加工工藝生產制造中某? 一段時間內放供氣量尤其大,但時間較短,若按這時的較大 排量配機械泵很不經濟發展,那樣可? 配備前級儲氣罐,在較大 放供氣量時存儲一部分汽體,以防止擴散泵前級壓力超出臨界值前級壓力。? 前級儲氣罐體積計算公式同式(328)。但設計方案這類前級罐時,應考慮下邊表達式

(3-2式中U—儲氣罐到擴散泵出入口管路的流導,L/s
V儲氣罐容積,L
1—儲氣罐上班時間,s
p—擴散泵臨界值前級壓力,Pa
p1—發電機組一切正常工作中時,擴散泵前級壓力,Pa
④用以平穩擴散泵出入口壓力而機器設備儲氣罐。機械泵排氣管是單脈沖的,盡管頻率不高(? 般為7次/s上下),也會造成擴散泵出入口壓力的起伏,設定儲氣罐可降低這類起伏。? (2)預抽泵? 預抽泵(粗抽泵)關鍵用于抽除真空室中的很多汽體,使真空室標準氣壓由1×105Pa降至? 主閥可以起動工作中時的真空值,因而,規定預抽泵所做到的壓力低于主閥的起動工作中壓力,? 預抽泵(如機械泵)的泵效尺寸由粗擠時間決策。從公式計算(3-15)導出來

v. Pi? Sp-2. 3Kg-Ig-(L/s)? 式中
預抽泵的為名泵效,L? V真空室容量,? p1開始抽真空時的真空室壓力,一般為1×105Pa? p主泵起動壓力(或預抽完畢時壓力),Pa;? 修正系數;? K? t—預抽泵的抽真空時間,針對容量V<1米3,取t=10~20min;中等水平容量V=2? 4m3,取20~30min;大中型容量,即V>5m3的真空室,取t=30~60