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? 制冷機(jī)低溫泵是把低溫面及隔板拼裝在封閉式循環(huán)制冷機(jī)系統(tǒng)軟件中與制冷機(jī)組合為一體的低溫? 泵,它是運(yùn)用的低溫表層的低溫冷疑、低溫吸咐和低溫收集等物理變化來得到 和維持高真空泵? 和極高真空泵。其特性為:(1)便于抽真空系統(tǒng)軟件完成徹底機(jī)械自動(dòng)化;(2)可完成較高的泵效,S? 100m3/s,能夠考慮大中型真空技術(shù)中所必須的泵效。? A制冷工作原理與循環(huán)系統(tǒng)軟件? 當(dāng)代低溫泵為閉循環(huán)中小型制冷機(jī)式低溫泵,全部低溫泵系統(tǒng)軟件由低溫泵、制冷壓縮機(jī)和致冷澎漲? 機(jī)等一部分構(gòu)成。致冷物質(zhì)氦氣由制冷壓縮機(jī)縮小,經(jīng)進(jìn)氣口到離心壓縮機(jī)。這時(shí)候旁通閥門開啟,離心壓縮機(jī)? 活塞桿在專用型電動(dòng)機(jī)推動(dòng)下往上健身運(yùn)動(dòng),使離心壓縮機(jī)下腔填滿髙壓汽體。當(dāng)活塞桿抵達(dá)上端頂部時(shí),關(guān)掉? 旁通閥,另外開啟自動(dòng)排氣閥,使離心壓縮機(jī)與底壓端互通,汽體澎漲致冷,活塞桿向下移動(dòng)把制冷量存儲(chǔ)? 在活塞桿內(nèi)的蓄冷器中。這般數(shù)次循環(huán),在一、二級冷頭處各自得到 小于80K和20K的低溫,? 并使汽體在低溫表面凝固,在活性碳上吸咐而被抽除。? 低溫泵系統(tǒng)軟件的關(guān)鍵是中小型制冷機(jī),它是一種中小型閉循環(huán)氦氣澎漲制冷機(jī)。現(xiàn)階段制冷機(jī)中恒? 泛選用的循環(huán)(適用T=20K的低溫循環(huán))有:斯特林發(fā)動(dòng)機(jī)循環(huán)制冷機(jī)、索爾文循環(huán)制冷機(jī)和? GM(吉福特汽車麥克馬洪)循環(huán)制冷機(jī)等。尤以斯特林發(fā)動(dòng)機(jī)循環(huán)和GM循環(huán)制冷機(jī)應(yīng)用較廣? 圖95是G-M循環(huán)制冷機(jī)低溫泵的工作中系統(tǒng)軟件,系統(tǒng)軟件的關(guān)鍵構(gòu)件有:(1)致冷模塊:包含致冷? 機(jī)(離心壓縮機(jī))、一、二級冷頭、低溫抽氣冷陣及泵殼;(2)氣頂模塊:氦制冷壓縮機(jī)、熱交換器、油氣分離器? 器、管道油過濾器等;(3)吸附器、閘閥等輔助元器件。該系統(tǒng)軟件的工作中汽體是99.998%高純度氦。? GM循環(huán)制冷機(jī)低溫泵的優(yōu)勢是致冷與縮小一部分能夠分離安裝,因此 致冷一部分能夠做得不大? 震動(dòng)非常容易操縱。缺陷是壓比低,交叉性較弱。G-M循環(huán)制冷機(jī)低溫泵較低溫度可達(dá)7K上下。

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B制冷機(jī)低溫泵的構(gòu)造構(gòu)成? 圖96為制冷機(jī)低溫泵的結(jié)構(gòu)示意圖,(a)圖為一立柱式低溫泵,由制冷機(jī)2、活性炭吸附? 面4(吸咐板)、低溫冷疑面5(冷軋鋼板)、屏蔽掉隔板7、屏蔽罩9、泵體10構(gòu)成。為了更好地對其運(yùn)作進(jìn)? 行檢測,還設(shè)立氫蒸汽壓溫度表1,其氫蒸汽壓溫泡8裝在制冷機(jī)的二級冷頭6上,該泵根據(jù)? 泵體上端法蘭盤與被抽器皿相接。當(dāng)泵工作中時(shí),因?yàn)橹评錂C(jī)一、二級冷頭造成低溫并制取冷? 量,促使隔板及屏蔽罩做到77~80K,冷軋鋼板及活性炭吸附面做到15~20K低溫,并不斷提供? 制冷量,因此便將器皿中可凝氣體經(jīng)隔板急冷后鎖定在冷軋鋼板上,而將不能凝氣體經(jīng)隔板急冷? 后吸咐在活性炭吸附表面,產(chǎn)生所必須的真空泵。如果是開啟式設(shè)備,則將持續(xù)注入被抽器皿的氣? 體,持續(xù)地鎖定和吸咐在冷軋鋼板及活性炭吸附表面,進(jìn)而維持居所必須的真空泵。
在一些系統(tǒng)軟件中,在泵體的上方法蘭盤與被抽器皿中間還設(shè)定高真空泵防護(hù)閥。當(dāng)泵停止工作? 時(shí),將此閥關(guān)掉以維持被抽器皿的真空值不會(huì)改變。泵停止工作后,制冷機(jī)已不造成制冷量,冷頭逐? 漸修復(fù)常溫下。這時(shí)候鎖定在冷軋鋼板上的可凝氣體將揮發(fā),被活性炭吸附的非可凝氣體將解析? 他們都跑到液相中去,進(jìn)而產(chǎn)生較高的工作壓力。為安全性及排出來這種汽體在泵體上設(shè)立再造抽真空排? 出入口12,泵工作中時(shí),它用密封性塞塞住。當(dāng)關(guān)機(jī)時(shí),泵體內(nèi)工作壓力上升,根據(jù)內(nèi)外壓力差將密封性塞? 頂開,殼內(nèi)汽體全自動(dòng)排污到空氣? 屏蔽罩9及隔板7由制冷機(jī)一級冷頭3來保持其77~80K的低溫,并不斷提供制冷量;低? 溫冷疑面5及活性炭吸附面4由制冷機(jī)的二級冷頭6維持其10~20K的低溫,并持續(xù)提供制冷量? 把必須冷疑和吸咐的汽體都冷疑和吸咐在它上邊,產(chǎn)生真空泵及抽真空功效? 圖9