?? (1)應(yīng)用? 渦輪分子泵一切正常工作中必須低于1Pa的前面壓力。一般的真空泵可做為該泵的前面泵? 高頻電機(jī)的起動由中頻感應(yīng)爐內(nèi)的電子系統(tǒng)操縱。在十多分鐘內(nèi)使泵升到額定值轉(zhuǎn)速比。高頻電動機(jī)? 工作中時一般以散熱風(fēng)扇或試壓開展制冷? 當(dāng)泵進(jìn)到一切正常轉(zhuǎn)速比后,為做到極限壓力,解決被抽器皿及泵體開展烤制除氣,泵體的除? 氣溫度為100~120℃,除氣后可獲得約10-8的極限壓力? 必須留意的是:①渦輪分子泵對相對性分子質(zhì)量大的汽體發(fā)動機(jī)壓縮比大,故極限壓力關(guān)鍵取? 決于相對性分子質(zhì)量小的汽體成份。如H2、He等。除此之外,器皿及泵體釋放的水蒸氣也是危害? 極限壓力的關(guān)鍵要素。? ②渦輪分子泵低真空泵位置的軸承潤滑油也是一個關(guān)鍵污染物,因而該泵是一個準(zhǔn)無? 油的機(jī)械泵。在泵終止運(yùn)行時,應(yīng)立即灌進(jìn)干躁N2,能夠遏制潤滑脂蒸汽的外擴(kuò)散。若? 想要毫無油的渦輪分子泵,務(wù)必對滾動軸承開展改善,怎樣應(yīng)用汽體滾動軸承,磁懸浮軸承的? 分子泵。? 因?yàn)樵摫镁邆涓咚龠\(yùn)轉(zhuǎn)的構(gòu)件,促使它不可以在電磁場下應(yīng)用。由于這會造成渦旋造成 ? 、葉子形變等實(shí)際效果。一般容許的雜散磁通密度為0.004~0.011T。? ④渦輪分子泵盡管具備起動快、停泵快的優(yōu)勢。但該泵的缺陷對H2、He等輕品質(zhì)氣? 體的發(fā)動機(jī)壓縮比小。也因?yàn)楸眯D(zhuǎn)構(gòu)件與靜止不動構(gòu)件間空隙不大,務(wù)必留意避免 各種各樣碎渣飛進(jìn)泵
內(nèi),導(dǎo)致?lián)p害的安全事故? (2)自然環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定? 渦輪分子泵應(yīng)在下述自然環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)下工作中? ①自然環(huán)境溫度為4~40℃;? ②氣體空氣濕度低于85%;? ③冷卻循環(huán)水滲水溫度不高過25℃? (3)泵的應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)? ①泵應(yīng)防止抽除帶煙塵、腐蝕或可燃性汽體。泵在一切正常運(yùn)行時,不允許立即導(dǎo)入大? 氣,不允許有明顯軸向震動? ②為了更好地除氣目地,對泵體檢測罩和真空泵精確測量規(guī)管開展烤制。其烤制溫度:泵體及泵體? 上的法蘭盤為120℃,檢測罩或真空泵器皿為300℃;真空泵檢測規(guī)管為400℃。? ③強(qiáng)烈推薦的前面泵應(yīng)合乎表422規(guī)定
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