XDS100B渦旋式真空泵

時間：2021-01-23 點擊次數：3408

概述

XDS100B 是滾軸增壓泵，具備專門針對高抽速用途的泵送機械裝置。與所有增壓泵一樣，它需要與主泵一同使用，非常適合與 Edwards XDS35i 或 XDS46i 滾軸泵搭配。當入口壓力在 1 mbar 到 10 mbar 之間時，XDS100B 針對較大抽速進行了優化，因此非常適合超高吞吐量的 LCMS 應用。先進的泵設計使得末端密封磨損幾乎消失，也就減少了維修干預，盡可能延長正常運行時間。
變換器驅動允許泵連接到單相電源，控制著電機的特性，確保泵總是以優化速度運行，并使用戶可以對泵進行遠程控制。

技術

滾軸泵利用相互交錯的固定和軌道滾軸來產生非接觸式新月形氣泡，并通過軌道運行不斷對其進行壓縮。這意味著，與油密封旋轉泵不同，在泵移動量中不需要密封劑或潤滑劑

特點優勢

真空外殼中不需要使用潤滑劑，完全密封可保證徹底的清潔和干燥真空，防止交叉污染
無大氣壓到真空的軸封可使軸承完全隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運行，使用時間更長
無需更換潤滑油，也就消除了處置被污染的潤滑油所需的費用
簡單的單側滾軸設計意味著維護工作可在數分鐘內完成，降低運行成本，盡可能延長正常運行時間
變換器驅動可使抽速穩定維持在 50/60Hz

技術參數

抽速
50 或 60Hz	95 m3h-1/56 ft3min-1
極限真空（總壓力）*	<1 x 10-2 mbar / <8 x 10-3 Torr
較大連續進氣口壓力	20 mbar/15 Torr
較大連續出口壓力	60 mbar / 45 Torr
短時內進氣口處的較大允許壓力	0.5 bar 表壓/7 psig
要從大氣抽空的較大真空腔體積	100 升
用于循環負載的較大真空腔體積 – 較大為每小時 6	50 升
電機功率	0.52 kW
標稱轉速	1750 rpm
重量	48 kg/105 lb
入口法蘭	NW40
排氣口法蘭	NW40
噪音級別	52.1 dB(A)
振動	<4.5mms -1 (rms)
密封性（靜態）	<1 x 10-6 mbar ls-1
工作溫度范圍	10 至 40 °C/50 至 104 °F